水冷盘用于在晶圆完成高温工艺后进行快速冷却，以满足后续工艺的要求。晶圆在经过高温工艺后，一般都需要快速冷却至室温或工艺要求的温度，以保证晶圆材料的稳定性和后续工艺的顺利进行。